Дифракционный 3D-эллипсометр
Запросить цену
NM-300
Дифракционный 3D-эллипсометр
Полученные с помощью алгоритма прямого оптического моделирования симулированные оптические параметры сопоставляются с фактическими измеренными оптическими параметрами.
С использованием алгоритма Левенберга–Марквардта (LM), сопоставления с базой данных и нейросетевых алгоритмов извлекаются структурные параметры дифракционной решетки образца — такие как коэффициент заполнения, толщина и угол боковых стенок.
характеристикиПовторяемость измерения трёхмерного профиля (XYZ) <0.5nm Точность измерения трёхмерного профиля (XYZ) <2% Повторяемость измерения толщины плёнки 0.01nm Диапазон измерения толщины плёнки 0.5um-20um Повторяемость измерения показателя преломления 0.0005 Размер светового пятна 150um Спектральный диапазон 245-1000nm Минимально измеряемый критический размер (CD) ≥20nm
Ширина малых линий может быть настроена по запросуСистема перемещения XYZ Электрическая Способ фокусировки Автоматический Model NM-300 Brand ATOMMETRICS
