Сканирующий микроскоп WIN SEM A6000

  • WIN SEM A6000 применяется для получения изображений поверхности образца с высоким пространственным разрешением. Анализ химического состава также возможен при помощи опционального спектрометра характеристического рентгеновского излучения (EDS).

    • Разрешение: 3нм@З0кВ (SE) / 6нм@1кВ (BSE) HV, LV,
    • Увеличение: 6x - 300 000X
    • Размер образца: 175 мм, Ток пучка: 10 пА - 0. 1 мкА,
    • Ускоряющее напряжение: 0-30кВ
    • 5-осевой столик образца (Авто X/Y, Ручной Z/R/T)
    • Возможность апгрейда катода LaB6 (гексаборид лантана), рентгеновский детектор, EBSD, CL, WDS, напылительная установка.
    • Модификации EBL, STM, AFTM, режим нагрева, режим заморозки, режим растяжения, SEM+лазер.
    Технические характеристики

    Разрешение

    3 нм@30 кВ (SE)

    6 нм@30 кВ (BSE)

    Увеличение

    8x~300000x

    Электронная пушка

    центрированный картридж с вольфрамовым катодом

    Напряжение

    Ускоряющее напряжение 0~30 кВ, шаг изменения 100 В@0-10 кВ, 1 кВ@10-30 кВ

    Быстрый кадр

    Нажатием одной кнопки

    Система линз

    Трехлинзовая

    Апертуры

    3 молибденовых апертурных диафрагмы объектива, прецизионный механизм выбора и юстировки апертур

    Вауумная система

    1 турбомол. насос

    1 форвак. насос

    Вакуум в камере<2,6E-3Па

    Вакуум в пушке<2,6E-3Па

    Полностью автоматическая вакуумная система

    Функция внешнего интерлока

    Для модели: A63.7069-LV

    2 форвак. насоса

    Режим низкого вакуума диапазон: 10-270 Па

    Время переключения режима вакуума < 90 c

    Детекторы

    SE: Высоковакуумный дет. вторичных электронов (с защитой от удара)

    BSE: твердотельный 4х-сегментный дет. обратно-рассеянных электронов

    BSE(LV): твердотельный 4х-сегментный дет. обратно-рассеянных электронов 

    CCD: ИК ПЗС Камера

    Порты расширения

    2 порта на вакуумной камере для EDS, BSD, WDS и др.

    Координатный стол

    5-осевой стол, 4 мот. + 1 ручная ось

    Диапазон перемещения:X=70 мм, Y=50 мм, Z=45 мм, R=360°, T=-5°~+90°(ручное)

    Датчик касания с функцией остановки

    Размер образца

    диам. 175 мм, высота 35 мм

    Изображение

    Максимальный размер 4096x4096 пикселей, 

    Формат изображения: BMP (по умолчанию), GIF, JPG, PNG, TIF

    Рабочая станция

    ОС Windows 10, профессиональное ПО управления микроскопом и анализа изображений, Спецификация компьютера не хуже Intel Core i5 3,2ГГц, 4Гб ОП, 24" ЖК IPS монитор, 500Гб диск, мышь, клавиатура 

    Отображение

    Отображение увеличения и масштабного отрезка в реальном времени, интерактивная линейка для измерения, гистограмма изображения

    Габариты и вес

    СЭМ: 800x800x1850  мм

    Стол оператора:

    1340x850x740 мм

    Общий вес 400 кг

    Опции:

    Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр

    A50.7011 Ионная установка напыления
    • Сканирующий микроскоп WIN SEM A6000
  • Сканирующий микроскоп WIN SEM A6000